Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
| ISBN | 978-5-507-45480-8 |
| Автор | Александрова Ольга Анатольевна |
| Издательство | Лань |
| Переплет | тв. переплет |
| Серия | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Год | 2023 |
| ID | 50ШШ |
| Арт1 | 50ШШ103,7 |
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности.Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».