Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
| ISBN | 978-5-9963-0032-7 |
| Автор | Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. |
| Издательство | Издательство БИНОМ |
| Переплет | тв |
| Формат | 60x90/16 |
| Год | 2018 |
| Стр. | 283 |
| Сроки выполнения | Уточняем в течение 24 часов после оформления заказа |
| ID | 105ЛБУрс |
Издатель: Бином. Лаборатория знаний
ISBN: 978-5-9963-0032-7
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
ISBN: 978-5-9963-0032-7
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.